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전리진공계 원리에 대해서
중심에 전자방사가 일어나는 온도에 가열된 필라멘트가 있고, 그 주위에 프라스 전위의 집전자 전극
(GRID)이 있어서 일정한 전자전류가 흐르고 있다.
필라멘트로부터 방출되는 열전자는 프라스의 그리드(GRID)전위로 가속되어 격자 또는 나선조(螺線條)의
GRID사이를 통과하여 마이너스 전위의 COLLOCTOR전극으로 향하나 마이너스 전위이므로 반사되어
어떤것은 몇번이고 GRID의 망을 통과하다가 결국에는 GRID에 잡힌다.
열전자는 이와같은 과정중 잔류기체중성분자와 충돌해서 프라스이온과 전자로 나뉜다.
(이온화)GRID, COLLOCTOR간에서 이온화한 프라스이온은 COLLOCTOR에 잡히고, GRID, 피라멘트 사
이에서 생긴 프라스이온은 피라멘트에 잡혀서 중성화한다.
이온화중에 생긴 전자는 GRID에 모인다.
본 열 음극형 전리진공계는 이온화에서의 전자전류를 일정하게 해두고 GRID, COLLOCTOR간에서
이온화한 프라스 이온을 이온 전류로 해서 읽으므로서 내부의 압력을 알 수 있는 진공계이다.
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