풍속계의 동작원리는
풍속 측정
어떤 전류값으로 가열된 풍속소자에 바람이 닿으면 바람에 열을 빼앗겨 풍속소자의 온도가 내려갑니다.
이 때에 전류치를 늘리는 것으로, 풍속 소자의 온도를 원래대로 되돌릴 수 있습니다.
풍속 소자의 온도를 일정하게 유지하기 위해서 필요한 전류값과 풍속값은 관련되어 있어, 이 전류값을 계측하는 것으로 풍속값을 알 수 있습니다.
풍온 측정
백금 박막 저항체나 백금 권선의 저항 값은 온도 변화에 따라 변화합니다.
이 저항치는 온도가 상승하면 증가하고, 온도가 하락하면 감소하며, 거의 비례의 관계에 있습니다.
이특성을 이용해서 온도소자를 풍속 소자와같은 분위기에 놓고 그 온도소자의 저항값을 측정하면 풍온을 알 수가
있습니다.
압력 측정
확산저항(센서칩)이 형성한 반도체 압력센서를 실리콘의 얇은 다이어프램 4곳에 내장함으로써 덕트내의 정압과 대기압의 차이와 클린룸 등의 실내와 실외의 압력차를 측정할 수 있습니다.
습도 측정
습도 센서는 한 쌍의 콘덴서로 형성되어 있습니다.
이 콘덴서에는 친수성의 고분자가 사용되고 있으며, 이 고분자에 공기중의 수분을 흡착시킴으로써 콘덴서의 전기용량이 변화합니다.
그 구조는 유리기판, 하부전극, 고분자 박막, 상부전극으로 구성되어 있습니다.
고분자 박막에 수분이 흡탈되어 유전율이 변화하고 정전 용량이 증가합니다.
그 변화를 전극으로 파악함으로써 습도를 측정합니다.
상대습도 변화에 따라 정전용량이 비례 변화합니다(정전용량 타입).
이외에도저항유형이있습니다.
정밀도는 일반적으로 정전 용량 타입은 저습에 강하고 저항 타입은 고습에 강한 것으로 알려져 있습니다.
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