정압의 측정 원리는?

정압의 측정 원리는?

아네모마스터 풍속계 및 클리모마스터 풍속계의 정압 측정에는 확산형 반도체 압력 센서가 사용되고 있습니다.

이 반도체 압력 센서는 확산 반도체 압력 센서라고 불립니다.

확산 반도체 압력 센서는, 압력을 받으면 저항치가 변화하는 피에조 저항 효과의 원리를 이용한 것으로, 실리콘의 얇은 다이어프램의 4개소에 확산 저항(센서 칩)이 형성된 구조입니다(그림 1).

그림 1의 상부에서 센서 칩에 압력이 가해져 휘면 다이어프램 중앙부의 R3, R4에는 압축응력이, 또 R1, R2에는 당김응력이 작용합니다(그림 2).

이 응력의 크기에 따라 확산 저항의 저항값이 변화합니다.

미검출회로(그림3)로서는 이들의 확산저항으로 브릿지를 구성하면 압력에 비례한 전압을 꺼낼 수 있습니다.

또한 실제로는 확산 저항에는 온도의존성이 있기 때문에 이 저항에 온도 보상 저항이 장착되어 있습니다.

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표.1 압력단위 환산표

	mmH2O	kPa	atm
1 mmH2O	1	9.807×10-3	9.678×10-5
1 kPa	102.5	1	9.868×10-3
1 atm	10,330	101.3	1

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계산방법

예) 100mmH2O를 kPa 단위로 나타내는 경우 　 100×9.807×10-3=9.807×10-1=0.9807 (kPa)

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