크린룸 청정도 등급에 대해서

크린룸 청정도 등급에 대해서

클린룸은 공기중 미립자가 적은 방입니다.

그럼 공기중의 미립자가 어느 정도 적은가, 즉 얼마나 깨끗한가.

이것들에 대한 규격이 클래스(청정도)입니다.

클래스가 나타내는 척도는 단위부피에 포함된 입자의 수로 나타납니다.

규격은 KS와 ISO가 있지만 현재 등급은 국제통일 규격인 ISO 규격으로 이행되었습니다.

ISO 규격에서는 1m3당 공기 중에 0.1μm 이상의 입자가 기준이 되고 있어 ISO 클래스 1~9까지 클래스를 분류하고 있습니다.

단, 업계에서는 이전보다 널리 관용되고 있는 미국연방규격을 사용하는 경우가 많은 상황입니다.

미국 연방 규격에서는 1입방피트(약 30cm 사방)의 공기중에 포함되는 0.5μm이상 크기의 입자의 수가 몇 개로, 클린 룸의 클래스 분배를 하고 있습니다.

예를 들어 0.5μm 미립자가 1입방피트 안에 100개 이하인 경우는 등급 100, 0.5μm 입자가 10,000개 이하인 경우는 등급 10,000입니다.

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미국연방규격 Fed.Std.209E

1입방피트(28.3L) 당 포함되는 입경 0.5μm 이상의 입자 수로 등급 배정이 이루어집니다.

청정도 클라스	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	5μm
클래스1	35	7.5	3	1
클래스10	350	75	30	10
클래스100		750	300	100
클래스1,000				1,000	7
클래스10,000				10,000	70
클래스100,000				100,000	700

ISO 14644-1

입경 0.1μm 이상의 입자 수로 등급 배정이 이루어집니다.

청정클래스	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm	Fed．Std．209E 상당
ISO　1	10	2
ISO　2	100	24	10	4
ISO　3	1,000	237	102	35	8		클래스　1
ISO　4	10,000	2,365	1,018	352	83		클래스　10
ISO　5	100,000	23,651	10,176	3,517	832	29	클래스　100
ISO　6	1,000,000	236,514	101,763	35,168	8,318	293	클래스　1,000
ISO　7				351,676	83,176	2,925	클래스　10,000
ISO　8				3,516,757	831,764	29,251	클래스　100,000

업종이나 작업 내용에 따른 청정도 등급의 기준

클린룸을 도입함에 있어서 청정도 클래스는 작은 것이 좋지만, 설비비, 운전비는 비쌉니다.

따라서 업종이나 작업내용 등에 따라 제품에 요구되는 요구, 수율 등을 고려하여 청정도 등급이 결정됩니다.

청정도 등급의 수준은 업계에 따라 대략적인 기준이 있습니다.

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※클래스란?

청정도를 입경별 입자 농도 정도에 따라 나눈 등급.1m3 공기 중에 포함되는 입경 0.01μm 이상의 미립자 수를 10의 곱으로 나타내야 하는 지수로 나타낸다.

 

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