초순수 배관에 대해서
초순수를 서브시스템에서 유스포인트까지 송수하는 초순수 공급배관은 초순수의 수질을 유지하는 것과 유스포인트에서 필요한 수량을 송수할 수 있는 두 가지가 필요한데, 특히 전자를 실현하기 위해 다양한 대책이 시행됩니다.
초순수의 수질저하 요인과 대책
초순수 공급 배관에서 수질 순도가 저하되는 요인으로는 다음과 같은 점을 들 수 있습니다.
(1) 배관 재질에서 초순수로의 불순물 용출
(2) 배관망 체류에 따른 수질 저하
(3) 배관 시공 시 오염물 반입에 의한 수질 저하
이 중 (1)을 방지하기 위해서 서브시스템 이후에 사용되는 배관은 용출물질이 없는가를 엄격하게 검사하여 합격한 것이 채용되고 있습니다.
최근에는 시공성, 비용 등으로 클린 PVC(염화 비닐관)가 많아지고 있습니다.
클린 PVC는 일반 수돗물의 송수에서 사용되는 것과 이온이나 TOC(전유기탄소)의 용출 특성, 관내면의 평활성이 달라 미생물이나 미립자의 부착, 세정성 면에서 우수합니다.
또한 배관의 접합방식도 (1)에 영향을 미칩니다.
따라서 접합은 접착제를 사용하지 않고 접합하는 쌍방 배관단부에 열을 가해 녹여 접합하는 용착방식을 채택하였습니다.
배관망을 고안하여 유량 확보
(2)의 방지책으로는 배관망에서의 체류방지와 유량확보를 위하여 리버스 리턴 방식이 사용됩니다.
이 방식의 특징은 이송 주배관과 돌아오는 주배관 사이에 압력차를 두어 각 활용 포인트의 어느 가지배관에서도 일정한 유량을 확보할 수 있게 되어 있습니다.
(3)의 대책으로는 배관의 접합공사 등의 작업을 클린 룸 내에서 실시함으로써 방지하고 있습니다.
이렇게 모처럼 제조한 초순수의 수질을 떨어뜨리지 않고 사용할 수 있도록 했습니다.
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