FFU의 사용법 및 설치에 대해서
FFU란?
FFU란, 팬 필터 유닛의 약어입니다.그 이름대로, 팬과 필터를 세트로 패키지 한 상품의 총칭으로, 클린화에 빠뜨릴 수 없는 공기 청정 기능을 담당하는 장치입니다.
주로 메인 필터로서 HEPA 필터(0.3μm 직경의 PAO 입자를 정격 풍량으로 통과시켰을 때 99.97% 이상을 포집하는 고성능 필터)를 탑재한 FFU를 라인업 하고 있습니다.
FFU는 주로 처리 풍량과 설치 방법에서 다음과 같이 분류되고 있습니다.
상부에서 공기를 흡입하여 필터로 청정화된 공기를 바닥에서 배출하는 FFU로 클린룸, 부스, 벤치의 공기청정 용도 및 각종 장비 상에도 탑재되어 장비 내 청정을 진행합니다.
매우 콤팩트하고 사용 편의 중시, 저비용으로 설계된 다목적형 FFU.
처리 풍량에 따라 1, 3, 5, 7, 10, 13, 17 입방미터의 각 타입을 라인업된제품들이 생산되고 있다.
FU 사용법~환기 횟수와 기류 형상
FFU는 여러 가지가 있지만 클린 룸 또는 국소적인 클린 에어리어를 구축하기 위해 사용합니다.
사용 가이드라인은 kS B 9919 '클린 룸의 설계 시공 및 스타트업'이라는 규격의 부속서에 명기되어 있으며, 거기에 따라 필요한 풍량의 타입을 선택 해 설치합니다.
청정도 환기 횟수 기류 형식
클래스 6(1000) ···30~90회/시비일방향유식 또는 병용식
클래스 7(10000) ····20~40회/시비일방향 유식 또는 병용식
클래스8(100000) ···10~20회/시비일방향 유식 또는 병용식
※()는 상당하는 FED-209D 규격의 청정도 클래스.시즈시에 의한 부기 점유상태는 통상운전시.
※환기 횟수란 대상 방을 공급하는 청정화 공기로 시간당 몇 차례 환기를 할 수 있는지를 나타내는 숫자.~회/시.
예를 들어 3×3×2(높이) m의 클린 부스를 설계할 경우, 용적은 18입방미터입니다.
여기를 클래스 7으로 하는 경우는, 18(입방메터 m)×40(회)÷60(분)=12(입방메터 m/분=CMM로 생략합니다)가 되므로, 여기에서는, 풍량이 12.5 CMM(강운전시)의 CS-CUTE-13C×1대를 선택하면 된다, 라고 하는 것이 됩니다.
또한 이 규격에는 기류 형식도 표기되어 있습니다.
등급 5 이상의 고청정도의 경우 일방향 유식이 채택되지만, 등급 6 이하에서는 비일방향 유식 또는 병용식이 채용됩니다.
등급 6 이하에서 채용되고 있는 비일방향식 기류는 난류 희석식이라고 하며, 오염 입자는 실내에 일정 시간 체류하면서 서서히 희석되는 방식입니다.
이 방식은 클린룸 내의 제품이 어느 정도 오염되는 것은 어쩔 수 없다는 생각입니다.
아니, 중요한 제품이 오염되면 곤란하다.' 라는 것이 보통인 것 같습니다.
그렇기 때문에 병용식 기류도 채용이 되고 있는 것입니다.
(비일방향 유식 중 일부, 일방향 유식을 병용하는) 제품의 오염을 방지하는 데 중요한 컨셉이므로 시즈시에서도 이 점을 중시하고 있습니다.
클린 룸(혹은 일반 공간) 내부에 설치하는 클린 부스, 또는 클린 벤치는 모두 이 컨셉에 근거하는 것입니다.
병용식을 발전시켜 비일방향식 내부에 비일방향류를 병용하는 방법도 물론 효과적일 것으로 생각됩니다.
대상이 부유미립자가 아닌 조대립자라도 병용식의 유효성은 확인할 수 있습니다.
※조대입자는 퇴적되므로 비일방향류만으로는 오염 위험이 높아질 것으로 예상하고 있습니다.
FFU의 사용법~설치에 대해서
NSF 및 CUTE 시리즈의 FFU는 상면의 원형 개구로부터 흡기하여, 하부에 설치된 HEPA 필터의 전면에서 뿜어내는 구조입니다.
클린룸이나 클린부스에서는 천장에 개구를 만들고 그 위에 FFU를 올리도록 설치합니다.
그러면 FFU는 룸·부스 밖의 공기를 흡입하여 안쪽으로 청정화(필터 성능에 의존)하여 공급합니다.
이때 룸 부스 안은 다른 곳보다 압력적으로 높아집니다.
이것을 양압(또는 정압, +압)이라고 하며 일반적인 클린룸은 이와 같이 양압관리를 합니다.
이것에 대해서, 일반의 거주 공간은 환풍기에 의한(기계적인) 배기를 실시해, 급기구로부터 자연스럽게 외기를 도입합니다.
이 상태에서는 내부가 외기보다 압력이 떨어지므로 음압(부압, -압)이라고 합니다.
음압상태에서는 청정도는 바깥공기의 깨끗함에 의존합니다.
음압상태로 관리하는 클린룸도 있습니다.
주로 유해한 물질을 취급하는 경우가 많으며 이 경우 급배기 모두 필터를 사용하여 기계적인 급배기를 합니다.
양압화는 클린화를 하기에는 중요한 요건입니다.
먼저 양압 상태를 만들기 위해서는 적절한 울타리를 설치해야 합니다.
작업 내용이나 도선을 고려하여 울타리를 결정합니다.
강판이나 알루미늄 프레임으로 형태를 정하고 주위에 수지와 금속 패널, 연질 염화 비닐 시트의 벽을 만듭니다.
다음으로 목표 청정도 클래스를 얻기 위한 환기 횟수를 설정하고 FFU를 선정합니다.
FFU 설치 방법에는 천장에 설치하여 위에서 아래로 기류를 형성하는 방법과 벽면에 설치하여 안쪽에서 앞의 기류를 형성하는 두 가지 방법이 있습니다.
일반적으로 중력에 의한 영향을 고려하여 위에서 아래로 기류를 만드는 경우가 많습니다.
FFU 사용법~ 여기에 주의!
대원칙
"대상물을 FFU에 대하여 상류측에 설치하는" FFU는 청정화된 바람을 공급하는 장치입니다.
그러나 대상물 사이에 발진원이 있다면 단순히 먼지를 분사시키는 장치가 되어 버립니다.
그러므로 대상물 사이에는 발진원(인간도 그렇습니다)이 오지 않도록 설치하여야 합니다.
들쭉날쭉한 기류에 주의
FFU의 풍속은 매우 완만해서 손을 대면 느낄지 느낄지 모를 정도입니다...라고 생각하는 것은 인간의 감성.미세먼지로 따지면 태풍 수준의 위력이 있습니다.
FFU의 바람을 타도 먼지는 흩날리는 것입니다.
조심해야 할 것이 바닥에서 솟구치는 기류.먼지를 태운 채 장치나 선반, 사람에게까지 뛰어 올라갑니다.
FFU의 풍속, 바닥이나 벽에 해당할 때까지의 거리, 대상물의 배치 등 충분히 고려하여 설치하지 않으면 예상치 못한 위험이 발생할 수 있습니다.
유인 기류에 주의하십시오
FFU의 기류에는 유인기류가 발생합니다.
내뿜은 공기는 약하지만 주위보다 압력이 낮은 상태가 되고, 거기에 향해 바람이 들어옵니다.
먼지도 그것을 타고 대류합니다.
FFU에서 바람을 확산시킴으로써 대책이 가능하며 시즈시에서는 그것을 위한 제품 CS 벌룬을 준비하고 있습니다.
같은 FFU를 사용해도 청정도가 확연히 달라집니다.
이오나이저와의 병용
클린 벤치 등에서 블로어 타입과 에어바 타입의 이오나이저를 병용하고 있는 고객은 많지만, 이오나이저는 바람으로 이온을 전달하려고 하기 때문에 FFU보다 풍속이 빠릅니다.
그러면 공기의 혼란이 일어나고 먼지도 이오나이저 바람을 타고 날아가게 됩니다.
이오나이저는 정전기를 제거할 수 있지만 중력에 의해 제품 위에 올라탄 먼지를 제거할 수는 없습니다.
바람이 싸울 경우에는 주의가 필요합니다.
일반 공기청정기와의 차이점
판매하는 FFU와 일반 가정에서 사용하는 공기청정기의 차이는 미립자 전문이라는 점입니다.
일반 가정용 공기청정기에서는 바이러스, 진드기, 곰팡이 등 알레르기원, VOC 등에도 대응하는 필터가 탑재되어 있는 경우가 많으며, 미립자 자체는 그다지 중요시되지 않는 경우가 대부분입니다.
미립자에 대응을 하면 일반 환경에서는 즉시 막힘을 일으켜 버립니다.
반대로 말하면, FFU는 일반 환경의 여러 문제의 해결에는 적합하지 않아 미립자·먼지 대책에 대해서 매우 유용하게 쓰이게 됩니다.
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