순수와 초순수의 구분 및 용도

순수와 초순수의 구분 및 용도

1) 순수는 일반적으로 5~18㏁․cm 이하의 물, 초순수는 그 보다 한 단계 높은 18㏁․cm 이상의 물.

2) 순수의 응용분야 및 용도로는 가장 대표적으로 실험실의 실험용수로 사용되며, 기타 열병합발전소의 

보일러용수, 핸드폰 세척용수 등으로 사용된다. 

3) 초순수의 응용분야 및 용도로는 반도체공업의 세척용수, 초음파 세척용수, 화학약품 용기 세척용수, 

제약공업 및 의료분야의 제조, 세정용수 등으로 많이 쓰여진다. 

4) 초순수는 실제 반도체 공정에서 수많은 공정 전후에 진행되는 세정 작업에 주로 사용됩니다. 식각공정 이후 웨이퍼를 깍고 남은 부스러기를 씻어내거나, 이온주입공정 이후 남은 이온을 씻어내는 것 등이죠. 이 외 웨이퍼 연마나 웨이퍼 절단 시에도 초순수를 사용합니다. 나노미터(nm) 단위의 초미세공정을 다루는 반도체는 각 공정 전후에 남아있는 작은 입자 하나에도 오류가 생길 수 있다. 때문에 각 공정 사이사이 웨이퍼를 정제된 물을 사용해 씻어내는 과정을 거침으로써 청정도를 확보하고 반도체 생산성, 즉 수율을 높입니다.

5) 물을 전기 분해하는 방법은 고분자막(Polymer Membrane) 등을 이용한 방법과 수산화칼륨(KOH)에 알칼리 수용액을 이용하여 물을 전기분해하는 방법 등이 있다. 이러한 방법은 물의 전기 전도도가 낮은 초순수나 증류수를 사용해야 하기 때문에 수소 생산에 따른 기존 연료대비 비용절감 효과가 크지 않다. 또한 제일많이 사용되고 있는 수소 개질기(SMR, Steam Methane Reformer, 수증기 촉매 개질 공정)에 의한 방법은 원료로 메탄(CH4, 약 25%)과 수증기(H2O, 약 75%)가 공급되며 수증기 발생을 위해 순수가 요구되며, 개질기술개발과 함께 그 가격이 내려가고 있으나 대량의 이산화탄소(CO2)를 배출한다는 단점이 있다.

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