유량에 관한 정보들

면적식 유량계란?

상단이 하단보다 벌어진 원추형 통(테이퍼관) 안에 부자(플로트)를 넣은 것으로 유량의 크고 작음에 따라 플로우트가 상하하여 그 맞는 위치를 읽고 유량을 구하는 것.

테이퍼관이란?

상단이 하단보다 펼쳐진 원뿔 위의 통.단면적이 입구와 출구에서 다른 파이프를 말한다.

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대기압 눈금이란?

유량계의 출구측이 대기로 방출되어 있는 상태 또는 어떠한 측정기만으로 테이퍼관 내부에 압력이 가해지지 않을 경우 선정되는 눈금.

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부하압 눈금이란?

유량계의 출구 측에 밸브 등이 붙어 있는 등 테이퍼관 내부에 압력이 가해지는 조건이 있을 경우에 선정되는 눈금을 말한다.

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사시 눈금이란?

자의 눈금처럼 등간격 눈금.

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리드 스위치 유량계란?

리드 스위치는 리드선을 자화시키면 ON, 자계를 소거하면 OFF가 되는 스위치 소자.

그 리드 스위치를 장비하고, 플로트의 위치 통과를 검지함으로써 유량 감시 기능을 가진 유량계를 말한다.접점이 들어가면 플로우트가 역방향으로 이동하지 않는 한 신호가 계속 유지하는 자기보유 기능을 갖는다.

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포토 센서 유량계란?

빛에 의해 물건의 유무, 크기, 길이 등의 물리량을 검지하는 소자나 장치.

그 포토 센서를 장비해, 플로우트의 위치 통과를 검지함으로써 유량 감시 기능을 가진 유량계를 말한다.

자기 유지 기능은 갖지 않는다.

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MFM이란?

마스플로미터의 약어. 주로 전자식 질량 유량계를 가리킨다.

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MFC란?

마스플로 컨트롤러의 약어.주로 전자식 질량 유량 제어기를 가리킨다.질량 유량 센서와 컨트롤 밸브를 가지고, 센서 출력과 유량 설정 입력을 이용하여 일정 유량이 되도록 제어한다.

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질량 유량이란?

유체의 유량을 표현하는 경우에 질량으로 생각한 경우를 가리킨다.

SI 단위계에서는 킬로그램 매초(kg/s)로 하고, 계량법에서는 킬로그램을 그램, 톤으로, 초를 때, 분으로 바꾼 단위도 인정하고 있다.

추정되는 유체가 기체일 경우, 부피는 압력이나 온도에 따라 변화하므로 표준 상태의 대기의 부피로 환산해서 표시한다.

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부피 유량이란?

유체의 유량을 표현하는 경우에 부피로 생각한 경우를 가리킨다.일반적으로 유량이라고 했을 경우에는 부피 유량을 가리키는 경우가 많으며, 일본의 계량법에서도 부피 유량을 단순히 유량으로 표현하고 있다.

단위는 SI 단위계에서는 (입방미터) 매초 (m3/s)를 이용한다.계량법에서는 그 밖에 세제곱미터를 리터로, 초를 시·분으로 바꾼 단위도 인정하고 있다.

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PID 제어란?

Proportional integral & derivation Control. 비례 동작, 적분 동작 및 미분 동작을 가진 제어 방식

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CE 마킹이란?

EU(유럽연합) 역내에서 유통시키는 제품에 대해 그 사용자 및 소비자의 건강 및 안전을 보호하는 것 등을 목적으로 유럽위원회가 발령한 뉴 어프로치 지령을 존중하며, EU역내에 있어서의 그 제품의 자유 유통을 확보하는 것.

따라서 유럽으로의 수출에 관련된 기업이나 유럽에 생산거점을 가진 기업에게는 필수조건으로서 CE마킹에 대한 대응이 필요하다.

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오토제로기능이란?

유체의 이동이 없는 상태에서 발생하는 마스플로 기기의 제로점 드리프트 오프셋 값을 일정 조건하에서 자동적으로 취소시키는 기능.

디지털 타입의 MF제품이나 주변기기에 탑재되는 기능

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패턴 설정 기능이란?

MFC에서 유량 설정 값을 복수 기억시키고 외부로부터의 접점 전환 동작에 의해 유량값을 변경시키는 기능.

시퀀서 등으로 간단히 임의 유량값으로 변경할 수 있다.

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실제 가스 교정과 전환 요소 법에 대해서?

매스 플로우는, 기본적으로 N2가스에서 유량 교정되어 출하됩니다.열식 센서는 원칙적으로 실가스 교정이 된 것 밖에 정확도는 보장할 수 없습니다.

현재, 우리가 실제 가스에서 교정이 가능한 것은 N2, O2, H2, He, CO2, Ar입니다.

그 다른 가스에 관해서는 N2에 대한 일정한 변환 계수=컨버전 팩터(CF)을 이용 고 N2가스에서 교정합니다.

예를 들면, N2에서 교정된 송어 플로우를 이용하여 Ar을 흘린 경우 Ar의 C.F.를 1.4로 하면 매스 플로우의 지시치보다 실제는 1.4배 더 많이 흐릅니다.

즉 Ar유량=1.4×N 2매스 플로의 유량 표시가 됩니다.

CF는 계산상 혹은 실가스 측정에 의한 데이터 축적으로 각종 가스에 대해 배출하고 있습니다만, 실제 가스의 상태(온도, 압력), 매스 플로우의 센서 방식, 바이패스(층류 소자)의 조합 측면에 따라 하나의 가스인 편차가 있거나 여러 개 존재할 수도 있습니다.

공표되어 있는 CF는 어디까지나 기준적인 사용법으로 생각해 주셨으면 합니다.

CF를 이용하지 않고 어디까지나 실가스 교정을 희망하는 경우는, 실가스를 제공하는 형태를 취해 교정을 실시합니다.

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사양 표기에 관해?

(정밀도) F.S. ±○% 와 같은 형태로 표시하고 있습니다.

이 값은 저희 회사 기준 유량계에 대한 교정 기준으로 한 가스(N2등)에서의 오차의 풀 스케일 값에 대한%값입니다.

그러므로 예를 들면 훌스케ー 50SCCM의 범위의 경우 정확도가±1%이면, 50×(1/100)=±0.5SCCM의 "불확실함"에서 폐사 기준 유량에 대해서 보증된다는 일이 됩니다.

(반복성)

풀스케일±0% 라고 하는 형태는 정밀도와 같습니다.이 값은 환경 조건을 동일하게 규정한 상태에서 설정한 유량을 반복해서 폐사 기준 유량계로 측정한 값의 편차를 나타내고 있습니다.환경조건에 변화를 준 후 값의 편차를 나타내는 재현성과는 정의가 다릅니다.

(응답성)

유량 제로에서 제어를 시작하고 매스 플로우의 출력이 훌스케ー 98%로 안정하는 시간으로 나타내고 있습니다.100%는 점근선장의 경우 해석하기 어렵기 때문에 보통 이렇게 씁니다.

주의)

유량 레인지로 표기합니다 값은 어디까지나 N2(or Air)가스를 흐를 경우의 풀 스케일(100%)값을 나타냅니다.

따라서 같은 유량이라도 가스종, 압력 조건이 다르면 원하는 사양을 만들 수 없는 경우가 있습니다.

 

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