기체 유량계 및 사용 용도에 대해서
마이크로머시닝 기술을 결집한 마이크로플로 센서는 유량 측정에 필요한 센서, 히터류를 1칩화한 것으로 센서 자체가 기체의 질량 유량을 직접 계측할 수 있습니다.
응답성 2msec, 계측 범위 300:1 최소 계측 유속 1cm/sec 등 기존의 계측 탐사 기술로는 얻기 어려운 성능을 실현했습니다.
요즘 대세는 질량 유량계는 모두 이 마이크로플로 센서를 탑재하여 고성능 기체 유량 계측·제어기기를 구입하는 추세에 있습니다.
분류로는 열식 기체 유량계(서멀식 유량계, 서멀플로미터라고도 한다)에 속하는 방식이지만 열응력이나 흐름의 힘에 의한 위치 차이가 거의 없기 때문에 장기적으로 안정적으로 공기, 가스 유량 계측을 할 수 있습니다.
매스플로미터
생산 공정, 시험 장치 등에서 사용하는 공기, 각종 공업가스의 유량 관리 또는 대유량 매스플로미터에서는 공장 에어의 공장 또는 동별 사용량 관리나 공업가스의 사용량 관리, 거래용 계량 등에 사용됩니다.
매스플로 컨트롤러
공장 생산공정에서의 유리, 로우즈 가공 등의 연소염 안정화 등을 목적으로 한 가스, 산소, 공기 각각의 유량제어
공기 관리용 미터
공장 에어(압축 공기)의 부문별 사용량, 코스트 관리나 장치의 적정 사용량 파악, 에어 누출 파악에 사용됩니다.
가스 유량 모니터
업무용 가스보일러, 공업로 등 연소장치의 가스사용량 관리에 사용됩니다.
중압 가스 미터
가스 상 거래 용에 사용됩니다.
매스 플로우 센서
이과학 기기, 에어 샘프러, 가스 분석기, 가스 검지기에서의 흡인 유량 계측 및 전자 부품·광학 부품의 진공 흡착 확인 등에 사용됨니다.
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