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기판형반도체식 센서
반도체식 센서와 비교하여 더욱 고감도이고 특히 염소・황화수소 등에 선택성이 있습니다.
휴대용 및 공업용 상품에 탑재되어있습니다.
검지 원리 | 두께 수~수십μm 정도의 후막 반도체 표면에서의 가스 검지 반응에 따른 저항변화를 측정 |
특징 | 1. 반도체식 센서와 비교하여 더욱 고감도입니다. 2. 가스에 대한 선택성이 있습니다. (Cl2, H2S, EO 등) 3. 비교적 고온에서 작동하기 때문에 표면에 「자체 정화작용」이 있어 재현성과 장기 안정성에 뛰어납니다. |
주요 검지 대상 가스
염소, 황화수소, 오존, 냄새, 에틸렌옥사이드 등
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