광학 박막 기술 용어들

광학 박막 기술 용어들

AR코팅

Anti-Reflection Coating(반사방지 코팅)

단층 코트, 멀티 코트의 양쪽 모두의 의미를 가진다.

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IR 차단 필터

Infra Redcutting Filter(적외선 컷 필터)

CCD 센서가 근적외선에 대한 감도를 가지므로 센서 앞에 장착한다.주로 디카로 이용되고 있다.

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ND 필터

Neutral Density Filter　

가시 지역에서 모든 파장을 평균적으로 감광시킨 필터

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UV-IR카셋트 필터

Ultra-Violet(자외선)과 Infra-Red(적외선)를 반사하여 가시광선을 투과하는 필터.액정 프로젝터에 많이 이용되고 있다.

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자외선 차단 필터

Ultra-Violet(자외선)을 반사하고 그 이외를 투과하는 필터.액정 프로젝터의 용도가 많다.

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알루미나

화학식 Al2O3으로 표시되는 증착 재료.

굴절률 약 1.6.

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이온 어시스트(IAD)

증착 입자로 이온화된 Ar혹은 O2등을 충돌시킴으로써 증착 입자의 운동 에너지를 증가시키고 밀착성이 좋은 증착막을 형성하는 방법.

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이온 플레이팅

플라즈마를 발생시켜, 증착 돔이 마이너스로 대전해(자기 바이어스) 증착 물질의 운동 에너지를 올려 고밀도의 성막을 행하기 위한 수법.

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이오나이저

정전기 제거 기기.정전기가 발생하면 기판에 먼지와 쓰레기가 붙기 쉬워 불량의 원인이 되므로 이 정전기를 제거하는 기기.

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인라인식 증착 장치

싱크론제 CES로 대표되는 증착조, 진공 배기조(취출조)가 분리되어 있는 구조의 증착장치.

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가넷트

자성체 재료로, 강한 자기장을 걸면 통과하는 편광면이 회전하는 패러데이 회전자 재료의 하나.

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기판

광학 박막을 형성하는 기초재주로 유리, 플라스틱(필름 등).

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금속 산화물

금, 백금, 니켈등의 소수의 금속을 제외하고, 대부분은 산화한다.금속산화물은 절연물이 되고 유전체, 강유전체 등의 성질을 가지며 결정, 유리질이 되는 것도 세라믹 상태가 되는 것이 있다.주요 광학 증착 재료이다.

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굴절률

빛의 진공중과 매질중의 속도의 비.

굴절률=진공 중의 속도 ÷매질 중의 속도.광속이 매질 중에서 진공 중의 1/2이 되는 경우 굴절률은 2.0이다.

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고굴절 재료

광학 박막에 사용하는 증착 재료로 굴절률이 높은 것.티타니아, 탄타라 등

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광학막 두께

광학박막 세계에서는 물리막 두께보다 광학막 두께를 사용하는 일이 빈번하다.빛에 있어서 같은 두께란 빛이 같은 시간 내에 진행하는 거리이므로 이를 광학막후라고 부른다.빛이 가는 거리는 매질에 따라 다르다.

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광학 로우퍼스 필터

광학상의 고주파 성분(노이즈 성분)을 제거하기 위한 필터.전자회로의 로퍼스 필터와 구별하기 위해 이렇게 부른다.주로 수정, LN 등.

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5산화 나이오븀(Nb2O5)

IAD나 이온플레이팅법 조건 하에서 고굴절 재료로 이용되는 재료

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콘덴서 렌즈(집광 렌즈)

결상용이 아니라 주로 광원에서의 광선을 집광하는 데 이용되며, 가능한 한 광원에서의 광선을 효율적으로 이용할 목적을 갖는다.액정 프로젝터, 노광기 등에 이용된다.

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지그(증착 지그)

증착하는 기판의 형상에 맞추어 돔에 세팅하기 위한 서포트 지구가 필요하며, 이것을 증착 지그라고 부른다.돔, 홀더, 틀 지그 등이 있다.

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증착 재료

광학 박막 재료증착으로 제작할 경우 증착재료라고 부른다.

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증착율

성막 중 단위 시간에서의 증착량. Å/sec가 자주 사용된다.

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쇼트웨이브패스필터

Short Wave Pass Filter.

지정 파장에서 단파장 측을 투과하고, 장파장 측을 반사시키는 필터.

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실리카

SiO2(이산화 규소)n≒ 1.46저 굴절 자재로 사용되는 일이 많다.광학 특성 외에 고밀착성, 표면 보호 등 물리적으로 뛰어난 성질을 가진다.

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지르코니아

ZrO2(이산화 지르코늄)n≒ 2.0고 굴절률 재료로 사용되는 일이 많다.또한 내찰상성이 높은 막이 생기므로 반사방지로 자주 사용된다.

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수직 입사

광학 기판, 박막에 빛이 수직(법선 방향)에 입사할 것.박막에서±10'정도까지는 분광 특성이 크게 변화하지 않는다.

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스패터링(Sputtering)

박막 형성법의 일종.성막 물질을 가열 증발시키는 진공 증착법에 대해서, 성막 물질(타깃)에 이온(원자) 충격을 주는 것으로, 성막 물질을 두드려, 기판에 박막을 형성하는 방식.진공증착과 비교하여 일장일단이 있다.

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설계(광학박막설계)

원하는 분광 특성을 얻기 위해 증착 재료와 그 막후를 최적화하는 것을 말한다.최근에는 설계 소프트를 사용하여 PC로 하는 일이 많다.

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층수

광학박막은 여러 종류의 재료를 최대 100층 이상 겹쳐 제작한다.제작한 광학박막의 최대 층수를 단순히 층수라고 한다.

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다이크로익 필터

Dichroic Filter.

빛을 지정된 파장으로 투과와 반사로 나눈 필터.

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탄타라

Ta2O5(산화 탄탈).

진공 증착에서는 고굴절률 재료로 많이 이용되는 재료.통상 증착에서는 TiO2에 비교하고 단파장 측(400nm부근)에서 흡수가 많지만 IAD나 이온 플레이팅 등의 수법에 의한 320nm정도까지 투명하게 된다.

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티타니아

TiO2(이산화 티타늄).

진공 증착에서는 고굴절률 재료로 많이 이용되는 재료.

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중심 파장

밴드 패스 필터나 반사 방지(AR)에서 그 투과(혹은 반사) 대역의 중심에 해당하는 파장.

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저항 가열

몰리브덴이나 탄탈에 전류를 흘려 가열함으로써 성막 재료(주로 금속 재료 등 융점이 낮은 재료로 사용 가능)를 증발시키는 수법.

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저굴절 재료

광학 박막에 사용하는 증착 재료로 굴절률이 낮은 것.실리카, 불화마그네슘 등

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전자 비임

텅스텐 필라멘트에 전류를 흘리면 전자가 튀어 나온다.이 전자를 다발로 묶어 가속하고 물질에 대면 물질이 가열돼 고온도가 된다.일반적으로 금속산화물의 고굴절률 재료는 융점이 높기 때문에 이 가열방식 이용하는 경우가 많다.

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템팍스(TEMPAX)

Shott사의 내열 유리 상품명.

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투과대

분광특성에서 빛을 투과하는 파장대역을 투과대라고 한다.

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돔

증착장치에 기판을 싣기 위한 "우산" 형태의 지그.

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입사각

기판에 입사하는 빛이 법선에 대해 어떤 각도로 입사할 경우 법선과 입사광이 이루는 각도를 입사 각도라고 한다.AOI(Angle of incidence)로 표시하는 경우도 많다.

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논시프트 가공

성막한 박막의 미세한 눈 속에 수분이 흡착되면 분광 특성이 전체적으로 장파장 쪽으로 이동한다.이 현상을 방지하기 위해, 박막의 밀도를 올려 수분이 흡착하지 않게 하는 것을 논시프트 가공이라고 한다.이온 어시스트, 이온 플레이팅, 이온 빔 스패터링 등 다양한 방법이 난립하고 있다.

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하스

증착 장치 안의 증착 재료를 충전하기 위한 용기.

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하프미러

Half Mirror.

빛의 광량을 조정하는 거울투명 박막을 형성한 경우 T+R=100%.

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하이패스 필터

롱웨이브패스필터참조

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파장 시프트

성막한 박막의 미세한 눈 속에 수분이 흡착하면 공기 부분(굴절률;1)이 물(N=1.33)로 변한다, 스펙트럼 특성이 전체적으로(장파장 측에)이동한다.이 현상을 파장 시프트라고 부른다.

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배치식 증착 장치

1회 증착할 때마다 대기를 도입해 증착조의 문을 열고 워크를 출납하는 방식의 장치.배기 시간+증착 시간+대기 도입 시간+워크 출납 시간이 1사이클로 처리 시간이 길지만 층수가 많은 성막이 가능하다.BMC라고도 한다(싱크론 명칭)

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반사 방지

AR코트 참조

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반값

투과대와 저지대의 광량의 평균치인 파장, 동해의 손님 쪽은 분광 투과율이 50%로 파장이 많다.

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반값 폭

통과 주파수 대역 필터에서 최대 투과율 1/2의 값의 파장의 폭.

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밴드 패스 필터

일정한 파장범위를 투과하고 기타 파장(투과파장의 근방)을 투과하지 않는 필터.

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비임 스플릿터

입사광을 분할하기 위한 광학 소자.광학박막으로 말하는 경우는, 입사광을 임의의 값으로 투과와 반사로 나눈다.

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화이버 어레이

광섬유를 일렬로 늘어놓아(알레이) 손 접착, 피복한 것으로, 리본 화이버라고도 불린다.

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플루오르화 마그네슘(MgF2)

진공 증착에서는 저굴절률 재료로 많이 이용되는 재료.

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플라이아이렌즈

콘덴서 렌즈의 일종.작은 콘덴서 렌즈를 평면형태로 배치한 구조를 가진다.단일 콘덴서 렌즈에 비해 조명광의 분포가 균일해져 구조적으로도 연하게 할 수 있다.액정 프로젝터에 많이 사용된다.

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분광 투과율

빛의 파장별 투과율

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분광 특성

빛의 파장별 투과율 혹은 반사율, 흡광도의 상태.

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분광 반사율

빛의 파장별 반사율

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분광 광도계(분광기)

빛의 파장별로 투과율, 혹은 반사율, 흡광도를 측정하는 장치.

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편광 비임 스플리터

S편광과 P편광의 한쪽이 투과되고 다른쪽이 반사되도록 설계된 부품. (PBS)

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홀더

증착 기판을 돔에 장착하기 위해 올리는 지그.알루미늄, 놋쇠, 스테인리스 등으로 제작한다.

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매트 처리

투명기판의 한쪽면 반사율을 측정할 경우, 뒷면에서의 반사의 영향을 제거하기 위해 뒷면 측에 산란을 일으키기 위해서 실시하는 '무광택' 처리.

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모니터 유리

일명 측정용 모니터, 테스트 피스.

상품의 대체로 분광 측정하기 위해 동시 가공하는 유리, (수지류도 있음)

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유전체

절연체로 유전 분극을 일으키는 물질.

여기에서는 증착물질로서의 유전체로 금속산화물이 주요한 것이다.유전율과 굴절률은 비례관계에 있다.

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리플

분광 특성 곡선의 일부 혹은 전체에 발생하는 불필요한 요철.제조상의 불균형에 의해서 발생하는 경우가 많다.가시역의 투과광을 사용할 경우, 이러한 불균형은 컬러 밸런스의 조정이 어려워지므로 바람직하지 않다.

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렌즈 어레이(Lens Alley)

동일한 렌즈를 1차원 혹은 2차원적으로 늘어놓은 복안렌즈.1차원인 것은 광통신, 팩시밀리, 스캐너 등에 이용되며, 2차원인 것은 액정 프로젝터에 사용되어 플라이아일렌즈라고도 불린다.

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렌즈섬유

광섬유의 선단을 여러 가지 형태로 성형해 렌즈의 기능을 갖게 한 것으로, 레이저 포토 다이오드, 다른 광학 부품에의 광결합 효율을 높인다.기존의 집광렌즈(볼렌즈 등)가 불필요해져 소형화할 수 있는 장점이 있다.

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롱 웨이브 패스 필터

Long Wave Pass Filter.

지정 파장에서 장파장 측을 투과하고 단파장 측을 반사시키는 필터

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로우패스 필터

Low Pass Filter.

쇼트웨이브패스필터참조

 

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