진공 펌프(Vacuum Pump)에 대해서

진공 펌프(Vacuum Pump)에 대해서

진공펌프는 흡입관 기밀(氣密) 용기 내의 기체분자를 제거하는 펌프로. 대기압 이하의 저압 기체를 흡인·압축하여 대기 중에 방출함으로써 용기 또는 배관 속의 진공도를 높이는 펌프로 화학공업 등의 배기, 진공발생 및 가스 압송 등에 이용되며, 수봉식과 기름회전식등이 있다

수봉식 진공펌프는, 원통형 케이성에 물을 넣고 편심하게 부착한 날개차(impeller)를 회전시키면, 물이 원심력에 의해 케이싱의 바깥둘레 부분에 동심원상으로 달라붙어 2개의 날개와 수면 사이의 공간의 부피가 날개차의 회전과 함께 변화함에 따라 흡입구에서 흡입된 기체의 부피가 날개차 안에서 서서히 감소되어 대기 중으로 방출되는 원리이다.․수봉식의 진공도는 절대압력으로 15kPa 정도로 낮지만, 물을 함유한 공기를 흡입하더라도 동작상 전혀 지장이 없다.․기름회전식 진공펌프는 회전자와 스테이터(실린더) 사이의 섭동부를 기름으로 실(seal)함으로써 새는 것을 막고 용적효율을 높여 고진공도를 얻을 수 있다.

확산펌프·이온펌프는 기계적 진공펌프로는 도달할 수 없는 고진공을 실현하기 위하여 사용되는데,․확산펌프는 보조진공펌프로 어느 정도 진공도를 높인 다음 기름 또는 수은을 가열·증발해 노즐에서 분출시켜 그 분류(噴流)와 함께 기체분자를 외부로 배출한다.․이온펌프는 양극과 음극 사이에 높은 전위차를 두고, 그에 따라 유도된 전자를 기체분자와 충돌시켜 분자를 이온화하는데 양의 전하를 받고 이온화한 기체분자가 음극에 모여 용기 속의 기체분자는 적어진다. 이 펌프는 입자가속기·X선관 등에 사용된다.