수질관련용어
HEPA(High Efficiency Particulate Air Filter)필터에 대해서
스마트계측기
2022. 10. 29. 08:34
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HEPA 필터에 대해서
High Efficiency Particulate Air Filter가 약자로서 , JIS 규격에서 『정격풍량으로 입경 0.3μm인 입자에 대해 99.97% 이상의 입자 포집률을 가지며, 초기 압력손실이 245Pa이하의 성능을 가진 에어필터』라고 규정되어 있습니다.
고도의 청정 공간이 요구되는 클린 룸과 클린 부스용 정밀 공조 기기, 제조 장치 내장용 팬 유닛에도 사용되며, 클린도 클래스 100~10,000까지 대응 가능합니다.
보다 높은 클린도가 요구되는 시설·설비에서는 ULPA 필터(Ultra Low Penetration Air Filter)가 있으며 JIS 규격에서 '정격 풍량으로 입경이 0.15 µm인 입자에 대해 99.995% 이상인 입자 포집율을 가지며 초기 압력손실이 245Pa 이하인 성능을 가진 에어필터'라고 규정되어 있습니다.
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